精密工学研究所は、1954年(昭和29年)にそれまでの精密機械研究所と電子工学研究所を発展的に統合し、“精密に関する学理の究明とその応用”を目的に設立された東京工業大学の4附置研究所の一つである。設立当初から学際研究の重要性に着目し、機械工学、制御工学、電子工学、情報工学、材料工学の研究者を擁し、“精密と知能の融合”を旗印に、ブレインインターフェイス、光・電子ナノテクノロジー（NT）・ナノデバイス、ナノ機械加工、マイクロ機能要素、そのシステム化、ナノ・バイオテクノロジー（BT）、ナノマテリアルおよびこれらの応用分野であるインフォメーションテクノロジー（IT）など、複合領域・境界領域を含む精密工学に関わる総合的な分野のCOEを目指している。大学附置研究所の主要な役割である新領域の開拓により新産業を目指すシーズ指向の基礎的・萌芽的研究と、産業を支える基盤技術の創成に向けたニーズ指向のプロジェクト的研究をバランスよく進めている。